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      聚束科技研制生產的國產高通量掃描電鏡成為耀眼亮點

      聚束科技發布時間:2019/10/14 18:27 點擊: 加載中..

      ? ?聚束科技研制生產的國產電鏡是全球首款真正意義上的高通量(場發射)掃描電子顯微鏡。10月23日至26日第十八屆北京分析測試學術報告會暨展覽會(BCEIA2019)上它首次亮相,以實物通電工作狀態,向世人展現國產高端電鏡的風采。本次展示的是與鋼研納克合作開發的領航者Navigator-OPA的機型,基于Navigator系列開發而成,尤其適合材料領域內的跨尺度原位觀測與統計分布分析。消息傳開,如打破了一潭平靜的池水,激起儀器界高度重視,聚束科技連日來收到科學家和企業家紛紛來電詢問,有的徑直來到聚束科技,先睹為快,并送來樣品上機檢測。

      ? ?擁有自主知識產權的高通量掃描電鏡領航者是一臺怎樣的儀器?具有怎樣的水平?又是如何騰空而出的呢?

      ? ?聚束科技歷經磨礪成功地突破了多項關鍵技術。領航者首次采用全電子直接探測器(Direct Electron Detection技術,實現低能量下二次電子(SE)和背散射電子(BSE)的高清視頻級同步觀測。目前已經交付客戶使用的領航者(Navigator)系列Navigator-100產品,全球同類高檔產品中屬于性能一流的精品。

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      圖一.聚束科技在2019年北京分析測試學術報告會暨展覽會展出高通量掃描電鏡

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      ? ?掃描電子顯微鏡是利用收集電子掃描樣品產出電子信號的成像系統。通過電子束與樣品的相互作用產生各種信號,來獲得材料表面的細節信息。

      ? ?領航者電鏡的性能特點鮮明。超高速成像能力48TB/天,使之具備了跨尺度信息融合能力。超大區域(100mmX100mm)全息成像模式,保持高分辨率情況下對樣品進行全自動無遺漏信息采集,并繪制成Google地圖式全景信息瀏覽。該系統對工程級材料進行整體納米晶粒、成分分布統計等電鏡微區分析。視頻級納米分析能力使掃描電鏡從傳統意義的納米“照相機”躍變為納米“攝像機”。在大視野下獲取高分辨率,在1kV加速電壓下可獲得1.8nm、10kV下可獲得1.2nm的分辨能力。

      ? ?領航者以人為本,操作簡單。她不僅實現全自動樣品載入系統,并有超高清全景光學導航。全球最快的SE加BSE成像速度,比傳統的產品快了10倍以上。7天24小時自動連續圖像采集,為創建大數據提供了可靠的的保障。

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      圖二.聚束科技產品高通量掃描電鏡領航者系統實物

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      ? ?高通量掃描電鏡擁有廣泛的應用前景。電鏡檢測技術可應用于材料科學、生命科學、失效分析、工藝制程研究等領域。例如超大體量生物3D重構成像、高通量跨尺度材料表征、大規模樣品缺陷篩查、鍍膜工藝檢測、平板顯示檢測、納米顆粒自動篩查等。

      ? ?2017年12月,聚束科技研制生產的首臺高通量場發射掃描電鏡系統——領航者(Navigator)系列產品正式下線,即成為用戶微觀尺度腦神經連接圖譜的繪制工具,將高速掃描電鏡成像技術、序列自動采集技術和實時拼接配準技術,整合為生物型高通量掃描電鏡三維影像系統。

      ? ?由于高質量電子光學系統研制生產困難,透鏡內探測器設計難度大、低電壓分辨率難以突破,數十年來我國科研與工業部門所用的掃描電鏡嚴重依賴進口。每年我國花費超過1億美元采購的幾百臺掃描電鏡,主要產自美、日、德和捷克等國。國產高通量掃描電鏡的問世,對打破國外壟斷,破解卡脖子技術封鎖,起到重要作用。

      ? ?聚束科技的年輕團隊本著“勵志突破全球技術瓶頸、打造中國民族電鏡品牌”的情懷,憑著在半導體產業中工業化高通量電鏡檢測技術多年的積累和傳承,下決心改變國內高端掃描電鏡系統依靠進口的現狀。聚束科技有信心持續創新,夯實基礎,奉獻先進的產品,為中國乃至全球提供一套全新的電鏡解決方案,助力科研和制造業,提供不可或缺的工具。

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