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      日本電子發布分辨率達53pm球差電鏡JEM-ARM300F2

      儀器信息網 2020/02/14 23:37:53 點擊 956 次
      [導讀] 02月14日,日本電子發布全新原子分辨率球差電鏡JEM-ARM300F2(GRAND ARM™2)。

      儀器信息網訊 2020年02月14日,日本電子(JEOL Ltd.)總裁兼首席運營官Izumi Oi宣布發布全新原子分辨率分析電子顯微鏡JEM-ARM300F2(GRAND ARM™2),該電子顯微鏡將于2020年2月發布。

      JEM-ARM300F2(GRAND ARM™2).jpg

      ■ 產品開發背景

      在電子顯微鏡技術領域,電鏡學者和工程師們始終在追求分辨率的提高。與此同時,JEOL也在努力提高透射電子顯微鏡(TEM)的穩定性,并將像差校正技術與這些努力相結合,已成功實現了超高的分辨率。

      此前JEOL在2014年發布的JEM-ARM300F(GRAND ARM™)是一款原子分辨率的TEM,致力于實現一流的分辨率。但是,現代TEM的需求不僅包括對硬質材料的表征,還包括對軟質材料的表征。在這種情況下,TEM用戶希望進一步提高分辨率和分析精度。

      此背景下,JEOL開發了一種全新TEM,即JEM-ARM300F2(GRAND ARM™2),可以滿足用戶的以上需求。這款超高原子分辨率分析TEM具有許多特點。特別是,借助新的物鏡極靴“ FHP2”,GRAND ARM™2實現了超高原子分辨率成像與同類最佳大立體角EDS元素分析的最佳組合。

      GRAND ARM™2的標準配置包括可減輕外部干擾的外殼,從而提高了儀器的穩定性。

       主要特點

      1 超高空間分辨率與高靈敏度X射線分析的最佳組合。

      新開發的FHP2物鏡極靴的特點如下:

      1)與之前的FHP相比,FHP2提供了更高的X射線檢測效率(1.4sr),是FHP的兩倍以上。

      2)低光學系數,低Cc系數和低Cs系數使得超高空間分辨率和高靈敏度X射線分析能夠在一定范圍的加速電壓下執行。

      (保證的STEM分辨率:300kV時53pm,80kV時96pm)*

      *在配置STEM擴展軌跡像差(ETA)校正器時

      2 用于物鏡的寬間隙極片(WGP)可以進行超高靈敏度的X射線分析。

      該磁極片在上磁極和下磁極之間具有較大的間隙,具有以下優點:

      1)WGP可使大面積的SDD(硅漂移檢測器)靠近樣品,從而實現超高靈敏度的X射線分析(總立體角為2.2 sr)。

      2)WGP可以容納更厚的樣品架,從而可以進行各種類型的原位實驗。

      3 JEOL開發的球差(Cs)校正器已集成到顯微鏡柱中,并提供了超高的空間分辨率。

      1)結合FHP2,GRAND ARM™2在300 kV時的STEM分辨率達到53 pm。

      2)結合WGP,GRAND ARM™2在300 kV時的STEM分辨率達到59 pm。

      3)JEOL COSMO™(校正系統模塊)使快速,輕松執行像差校正成為可能。

      4 標配冷場發射槍(Cold-FEG)。

      GRAND ARM™2配備了Cold-FEG,可從電子源提供較小的能量散布。

      5 減輕外部干擾的外殼

      這種新外殼是減少外部干擾(例如氣流,室內溫度變化和噪音)的標準。

      ■ 主要規格

      保證分辨率

      HAADF-STEM圖像:53pm(帶ETA校正器和FHP2

      電子槍:冷場發射槍(Cold-FEG

      加速電壓

      標準:300kV80kV

      能量色散X射線光譜儀

      大面積SDD158mm 2):可以使用雙探測器

      立體角:1.4sr(帶FHP2





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      編輯: 楊厲哲
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